四探針電阻測試儀可以選擇那些探頭？
探(tan)(tan)頭選配：根據不同材(cai)料(liao)特性需要，探(tan)(tan)頭可有(you)多款選配。有(you)高耐磨碳化鎢(wu)探(tan)(tan)針探(tan)(tan)頭，以測(ce)試(shi)(shi)硅類(lei)半導(dao)(dao)體、金(jin)屬、導(dao)(dao)電(dian)(dian)塑(su)料(liao)類(lei)等硬(ying)質材(cai)料(liao)的電(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)(lv)/方阻(zu)(zu)；也有(you)球(qiu)形鍍金(jin)銅合(he)金(jin)探(tan)(tan)針探(tan)(tan)頭，可測(ce)柔(rou)性材(cai)料(liao)導(dao)(dao)電(dian)(dian)薄(bo)膜(mo)、金(jin)屬涂(tu)層或(huo)薄(bo)膜(mo)、陶瓷或(huo)玻璃(li)等基底上(shang)導(dao)(dao)電(dian)(dian)膜(mo)（ITO 膜(mo)）或(huo)納米涂(tu)層等半導(dao)(dao)體材(cai)料(liao)的電(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)(lv)/方阻(zu)(zu)。換上(shang)四端(duan)子測(ce)試(shi)(shi)夾(jia)具，還可對電(dian)(dian)阻(zu)(zu)器體電(dian)(dian)阻(zu)(zu)、金(jin)屬導(dao)(dao)體的低、中值電(dian)(dian)阻(zu)(zu)以及開關類(lei)接(jie)觸(chu)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)進行測(ce)量。配探(tan)(tan)頭， 也可測(ce)試(shi)(shi)電(dian)(dian)池極(ji)片等箔上(shang)涂(tu)層電(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)(lv)方阻(zu)(zu)。
儀器具有(you)測量范圍寬、精度高(gao)、靈敏(min)度高(gao)、穩定(ding)性好、智能化(hua)程度高(gao)、外(wai)形(xing)美觀、使用(yong)簡(jian)便等(deng)特點。
儀器(qi)適用于半導(dao)體材料(liao)廠器(qi)件廠、科研單位、高等院校對導(dao)體、半導(dao)體、類半導(dao)體材料(liao)的導(dao)電(dian)性能(neng)的測試。
BEST-300C 型材(cai)(cai)料(liao)電導(dao)率測試儀(yi)(yi)是(shi)運用四探針測量原理測試試導(dao)體、半導(dao)體材(cai)(cai)料(liao)電阻(zu)率/方阻(zu)的(de)多用途(tu)綜(zong)合(he)測量儀(yi)(yi)器。該儀(yi)(yi)器設(she)計符合(he)單晶硅物理測試方法國家標準(zhun)并參考美(mei)國 A.S.T.M 標準(zhun)。
儀器成套組成：由主機、選(xuan)配的四(si)探針探頭(tou)和測試臺等三部分組成。
主(zhu)機(ji)主(zhu)要由數(shu)控恒流源，高(gao)分辨率(lv) ADC、嵌入式(shi)單片機(ji)系統組(zu)成。自動/手動量程可選(xuan)；電(dian)(dian)(dian)阻率(lv)、方阻、電(dian)(dian)(dian)阻測試類別快捷切(qie)換：儀器(qi)所有參數(shu)設定、功能轉換全部采用(yong)(yong)數(shu)字(zi)化鍵盤(pan)輸入，簡便可靠；具有零位、滿度自校功能；測試結(jie)果由數(shu)字(zi)表頭直(zhi)接顯示。本測試儀采用(yong)(yong)可充電(dian)(dian)(dian)鋰(li)電(dian)(dian)(dian)池供電(dian)(dian)(dian)，適合手持式(shi)變動場合操作使用(yong)(yong)！
數字電壓表：
⑴量程： 20.00mV
⑵誤差：±0.2%FSB±2LSB
⑶*分辨力(li)：1.0µV
顯示: 4 位數(shu)字顯示，小數(shu)點自動顯示
數控恒流源
⑴電(dian)流輸出：直(zhi)流電(dian)流 0.1µA～1.0A，系(xi)統自動調整。
⑵誤差(cha)：±0.2%FSB±2LSB
四探針測試探頭：
有選配(pei)的(de)型(xing)號確定，詳見《不同半導體材料電阻(zu)率/方阻(zu)測試的(de)四探針探頭(tou)和測試臺選配(pei)方
法》
電源：
功 耗：< 15W，輸入:220V±10% 50Hz±2%
本儀器(qi)工作(zuo)條件為(wei)： 溫 度： 0-40℃ 相(xiang)對濕度： ≥60%
工作室內應無強電磁場干擾，不與(yu)高頻設(she)備共用電源。
外形尺寸：主機 245mm（長）×220 mm（寬）×95mm（高）
BEST-300C 測(ce)試(shi)儀能夠測(ce)量半導體材(cai)料體電(dian)阻(zu)率ρ、方塊電(dian)阻(zu)（薄片(pian)電(dian)阻(zu)率）R 口
以及體電(dian)阻 R，測量時需調整相應(ying)的修正系數(shu)和(he)選擇相應(ying)的功能。
本產品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測試的基本修正系數設定， 還提供了產品厚度 G、外形和測試位置的修正系數 D 設定，極大的提高了測試精度。測試類別的快捷選擇方式，方便了用戶同時測試多個參數，提高測試效率。
對于電(dian)阻器類(lei)樣品，用四(si)端(duan)子測試(shi)(shi)線按照圖 5-1 連(lian)接(jie)(jie)好樣品，對于半導體材料(liao)，測試(shi)(shi)前(qian)表(biao)面(mian)應(ying)進行必(bi)要(yao)(yao)的(de)(de)處(chu)理。如(ru)圖 5-2，對于硅材料(liao)要(yao)(yao)進行噴砂或清潔(jie)處(chu)理，對于薄膜類(lei)的(de)(de)要(yao)(yao)保持表(biao)面(mian)清潔(jie)，必(bi)要(yao)(yao)的(de)(de)要(yao)(yao)進行清潔(jie)。樣品放在平(ping)整的(de)(de)臺面(mian)上。將測試(shi)(shi)探頭(tou)的(de)(de)插(cha)(cha)頭(tou)與主(zhu)機的(de)(de)輸入插(cha)(cha)座連(lian)接(jie)(jie)起來，連(lian)接(jie)(jie)好探頭(tou)和主(zhu)機。將電(dian)源開關置于開啟位置，數(shu)字顯示亮。儀器預(yu)熱(re) 15 分鐘以上，增加讀數(shu)穩定性。
在設定模式(shi)下（設定完畢(bi)，保存(cun)好數據后），選擇(ze)測(ce)量(liang)類別（電(dian)阻率(lv)ρ、方(fang)塊電(dian)阻
（薄片電阻(zu)率）R 口或(huo)體電阻(zu) R 中(zhong)三(san)選一，切換儀器(qi)到“測量(liang)”模(mo)式(shi)(shi)，窗口左側“測量(liang)” 模(mo)式(shi)(shi)燈亮(liang)。電阻(zu)測量(liang),注(zhu)意(yi)良好接(jie)(jie)觸，電壓(ya)測試(shi)端在內側；半導(dao)體參數(shu)測試(shi)，將(jiang)探針與樣品良好接(jie)(jie)觸，注(zhu)意(yi)壓(ya)力要適中(zhong)；由數(shu)字(zi)顯(xian)示窗直接(jie)(jie)讀(du)出測量(liang)值(zhi)。
注(zhu)意！測量(liang)(liang)狀態中，電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)默認為(wei)自動(dong)方式，也可調整(zheng)為(wei)手(shou)動(dong)方式，手(shou)動(dong)方式下(xia)， 電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)適合的(de)(de)，儀(yi)器會穩定顯示數(shu)據，電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)不(bu)適合的(de)(de)會給出超(chao)(chao)量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)或欠量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)閃爍提示，對于(yu)超(chao)(chao)量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)，說(shuo)明電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)過大，要調到較小電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)檔；對于(yu)欠量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)，說(shuo)明電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)過小， 要調到較大電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)檔。
